广东省东莞市大岭山镇莞长路878号YL&JGH商业大厦三楼
服务热线
130 1868 6991
- 产品概述
- 成分：属于全氟聚醚（PFPE）润滑剂，主要由氟原子、碳原子和氧原子组成，不含有其他添加剂，具有高度的纯净性。
- 性能特点
- 化学稳定性：具有极强的化学惰性，能够耐受强酸、强碱、强氧化剂以及各种腐蚀性气体和活性气体自由基等，在半导体制造过程中，不会因与工艺中使用的化学品发生反应而污染环境或损坏设备。
- 热稳定性：可在极宽的温度范围内保持稳定的性能，通常能在 - 70℃至 + 400℃的极端温度条件下正常工作，适用于半导体设备中的高温部件，如真空泵、加热器等，在高温环境下仍能提供可靠的润滑。
- 低挥发性：在高真空环境下的挥发极低，其低释气性能可有效减少挥发性有机物（VOC）对半导体晶圆的污染风险，满足半导体行业对生产环境洁净度的严格要求，确保生产环境的纯净。
- 良好的润滑性：具备优异的润滑性能，低摩擦系数可以有效减少设备部件之间的磨损，降低能量损耗，提高设备的运行效率和使用寿命，同时也有助于确保晶圆在传输过程中的平稳性和精确性，减少晶圆损伤的风险。
- 材料兼容性：与各类弹性体、聚合物、金属及涂层等材料都有良好的兼容性，能够与设备的各个部件和谐共处，不会对设备材料造成腐蚀、溶胀或其他不良影响，确保设备各部件的顺畅运行。
- 洁净度高：符合半导体行业对洁净度的极高标准，能够有效减少颗粒物和杂质的产生，避免在设备运行过程中产生污染物，从而保证半导体制造工艺的高精度。
- 应用领域
- 半导体制造：在半导体制造过程中应用广泛，可用于真空泵、光刻机、刻蚀机、离子注入机等关键设备的润滑和密封。例如，用于真空泵可在高真空和高温条件下提供长效润滑，延长设备寿命并减少维护频率；用于光刻机的镜头调节机构、载物台和导轨等部件，可确保高精度运动的稳定性和可靠性。
- 电子元件制造：适用于电子元件制造过程中的各种精密设备，如半导体封装设备、印刷电路板（PCB）制造设备等，能够为这些设备的运动部件提供良好的润滑，保证设备的正常运行和产品质量。
- 其他高精度电子设备：在一些对环境洁净度和设备精度要求较高的其他高精度电子设备中也有应用，如航空航天电子设备、高端科学仪器等，可满足这些设备在极端条件下的润滑需求，提高设备的可靠性和稳定性。