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XYC 1506XP 是一款全氟聚醚（PFPE）真空泵润滑油。
- 产品特性
- 化学稳定性极佳：化学性能非常稳定，耐强酸（包括路易氏酸）、耐强碱，与氟气等特种气体、强腐蚀性物质、强氧化剂、还原剂均不发生反应。
- 低蒸气压：经过精确蒸馏，具有低蒸气压特性，适用于高真空环境，能有效保持真空系统的真空度。
- 安全性高：不可燃，消除了真空泵起火的可能性，在氧气系统中不反应，使用安全。
- 环境友好：不含硅元素、VOC 材料或氯元素，对大气和臭氧层不构成威胁。
- 技术指标：在 20°C 时的粘度为 62mm²/s，密度为 1.88g/mL。
- 应用领域
- 半导体工业：得到了莱宝（Leybold）、爱德华（Edwards）、荏原（Ebara）等大多数真空设备生产商的认可，适用于半导体制造过程中的真空泵润滑，如蚀刻和沉淀过程的特种气体处理。
- 其他领域：还可用作真空系统的密封剂，应用于洁净室、机器手臂等，也可用于轴承、阀门、密封、O 型密封圈、链条、压缩机、齿轮箱等部件的润滑。